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　　申请号：201710053477.X
　　申请人：朱胜利
　　发明人：朱胜利

　　摘要： 本发明属于硅片表面处理技术领域，具体涉及一种金刚石线切割硅片的表面处理装置及表面处理方法。该表面处理装置包括一个顶部开口的磨蚀槽和两个相对设置的第一磨蚀架、第二磨蚀架，磨蚀槽内填充有磨蚀颗粒悬浮液；第一磨蚀架上安装有吸附装置，第二磨蚀架上安装有磨蚀装置或者吸附装置；吸附装置用于吸附固定待处理的金刚石线切割硅片，磨蚀装置上设置有平板状或者圆辊状的磨蚀面。本发明通过配制磨蚀颗粒悬浮液，利用磨蚀颗粒的不规则棱角对金刚石线切割硅片表面进行磨蚀处理，本发明完全采用机械磨蚀进行处理，而不需要使用强腐蚀性的酸、碱等化学物质，安全环保，处理效率高。 　　主权利要求：1.一种电镀金刚石切割线打磨去镍配套设备，其特征在于：其结构包括：加工主箱体(1)、空气泵(2)、排气管(3)、控制面板(4)、显示屏(5)、进水管(6)、电源按钮(7)、出货口(8)、控制旋钮(9)、控制按钮(10)、底部支架(11)、出水管(12)、进货口(13)、工作监视窗(14)，所述控制面板(4)的左上角设有显示屏(5)，所述显示屏(5)的右边设有电源按钮(7)，所述电源按钮(7)的下方设有控制旋钮(9)，所述控制旋钮(9)的左边设有控制按钮(10)，所述加工主箱体(1)的左部设有进货口(13)，所述加工主箱体(1)的右部设有出货口(8)，所述加工主箱体(1)的上部设有空气泵(2)，所述空气泵(2)和排气管(3)连接，所述空气泵(2)的右边设有进水管(6)，所述加工主箱体(1)的下方设有底部支架(11)，所述底部支架(11)的内部设有出水管(12)，所述加工主箱体(1)包括：加固箱体外壁(101)、打磨设备(102)、集气管(103)、集气斗(104)、增压泵(105)、清洗水管(106)、集水箱(107)，所述加固箱体外壁(101)的内部的左部设有打磨设备(102)，所述集气管(103)的右边设有增压泵(105)，所述增压泵(105)的下方和清洗水管(106)连接，所述增压泵(105)和进水管(6)固定连接。
　　2.根据权利要求1所述的一种电镀金刚石切割线打磨去镍配套设备，其特征在于：所述加工主箱体(1)的前部设有工作监视窗(14)。
　　3.根据权利要求1所述的一种电镀金刚石切割线打磨去镍配套设备，其特征在于：所述工作监视窗(14)的右边设有控制面板(4)。
　　4.根据权利要求1所述的一种电镀金刚石切割线打磨去镍配套设备，其特征在于：所述打磨设备(102)的右边设有集气管(103)，所述集气管(103)的下方设有集气斗(104)。
　　5.根据权利要求1所述的一种电镀金刚石切割线打磨去镍配套设备，其特征在于：所述清洗水管(106)的下方设有集水箱(107)，所述集水箱(107)和出水管(12)连接。