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　　申请号：201620264109.0
　　申请人：上海征世科技有限公司
　　发明人：龚闯 郑灿

　　摘要：本实用新型涉及金刚石生产技术领域，尤其是用于等离子体化学气相沉积法双向生长单晶金刚石的衬底托。包括水冷基片台，所述水冷基片台上设有衬底托，所述衬底托由水平底部和中心凸起部位组成，所述衬底托水平底部为圆盘，所述中心凸起部位设有方形通孔，所述方形通孔个数≥1且为任意几何形状。本实用新型的衬底托为一体式组成，水平圆盘与水冷基片台直接接触，起到较好的散热作用，竖直衬底托处于等离子体中，起到固定单晶金刚石种子的作用并将种子双面接触等离子体，这样双面生长单晶金刚石，单位时间内有效速率太高了一倍，减少生长时间和生长步骤，能够满足工业化生产要求。 　　主权利要求：1.一种用于双向生长单晶金刚石的衬底托，包括水冷基片台（1），其特征在于：所述水冷基片台（1）上设有衬底托，所述衬底托由水平底部（2-1）和中心凸起部位（2-2）组成，所述衬底托水平底部（2-1）为圆盘，所述中心凸起部位（2-2）设有通孔（3），所述通孔（3）个数≥1且为任意几何形状。
　　2.根据权利要求1所述的一种用于双向生长单晶金刚石的衬底托，其特征在于：所述衬底托为钼或钨或钽制成的组件。
　　3.根据权利要求1所述的一种用于双向生长单晶金刚石的衬底托，其特征在于：所述通孔（3）个数为1个时，所述通孔（3）位于衬底托的中心凸起部位（2-2）中心。
　　4.根据权利要求1所述的一种用于双向生长单晶金刚石的衬底托，其特征在于：所述通孔（3）个数为多个时，所述通孔（3）均匀对称分布在衬底托中心凸起部位（2-2）中心。
　　5.根据权利要求4所述的一种用于双向生长单晶金刚石的衬底托，其特征在于：所述衬底托中心凸起部位（2-2）和通孔（3）为正方形。
　　6.根据权利要求5所述的一种用于双向生长单晶金刚石的衬底托，其特征在于：所述衬底托水平底部（2-1）圆盘直径为10-300mm，厚度为1-20mm；所述衬底托中心凸起部位（2-2）尺寸为5-100mm，厚度为0.5-10mm；所述通孔（3）的尺寸为1-30mm，厚度为0.5-10mm。