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郑州华晶金刚石股份有限公司

高温退火:改善单晶金刚石内部缺陷

关键词 金刚石|2025-02-08 10:35:32|来源 DT半导体
摘要 单晶金刚石被誉为“材料之王”,凭借超高的硬度、导热性和化学稳定性,在半导体、5G通信、量子科技等领域大放异彩。硬度之王:拥有超高的硬度,是磨料磨具的理想选择。抗辐射性强:在半导体和...

       单晶金刚石被誉为“材料之王”,凭借超高的硬度、导热性和化学稳定性,在半导体、5G通信、量子科技等领域大放异彩。

       硬度之王:拥有超高的硬度,是磨料磨具的理想选择。

       抗辐射性强:在半导体和量子信息领域应用广泛。

       导热率高:在电子器件中表现出色。

       化学稳定性好:在恶劣环境下也能保持稳定。

       然而,工业制备的单晶金刚石并非完美无瑕,常常存在以下问题:

       缺陷多:如氮杂质等,导致金刚石透明度低、色泽差。

       光学性质差:颜色偏黄或棕色,影响其美观和应用。

       内应力大:容易产生裂纹,影响其机械性能。

       高温退火作为关键处理手段,可有效改善其性能,依条件分为高温低压和高温高压法,本文聚焦其研究进展。

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       高温高压法处理金刚石

       原理:模拟天然金刚石形成的高温高压环境(如1500℃、4.0 GPa以上),促使内部缺陷重组。         效果:

       氮杂质与空位结合,形成稳定色心,改善颜色(如棕色变无色)。

       提高硬度与透明度,红外吸收峰锐化。

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金刚石的光致发光光谱

       案例:元素六公司专利显示,处理后金刚石的光学性能显著提升。

       高温低压法处理金刚石

       原理:在氢气或惰性气体保护下(约2200℃、低压),释放内应力,减少缺陷。

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CVD 单晶金刚石高温低压退火的实物图

       效果:应力降低高达1.03 GPa(Zhu X等研究)。

       颜色由黄棕变浅,紫外吸收系数下降。

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       CVD 单晶金刚石的紫外可见吸收光谱

       黑科技:结合电子辐照,可在1600℃下诱导粉红色色心,用于量子传感领域!

       高温退火技术的应用与发展

       技术优势与操作要点:有效提升金刚石光学与质量、降低应力、改善缺陷,高温高压退火注意均压防损,高温低压退火可在氢气或惰性气体氛围防碳化。

       工业应用意义与前景:解决工业金刚石氮杂质致的质量问题,提高制备效率和良品率,对 CVD 和 HTHP 法制备的金刚石改善效果显著,有望拓展其应用范围。

 

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