申请人:济南中乌新材料有限公司 山东贝斯特环境技术有限公司
发明人:王盛林 王笃福 王希江 王希玮 徐昌
摘要:一种金刚石单晶生长腔体温度测量装置,包括顶锤、夹持环和温度传感器,顶锤设置在夹持环的端部,温度传感器封装在夹持环内。温度传感器通过引线连接至温度测量仪表或模块,在金刚石单晶生长腔体的前后左右四面各设置一个上述测温装置。顶锤感知生长腔体内的温度,通过夹持环内的温度传感器测量该温度,根据该温度与生长腔体1内实际温度的相关性,从而得到腔体内的温度。该装置测量过程简单,成本低,通过测量顶锤温度,根据该温度与腔体内实际温度的相关性,从而得到腔体内的温度,不直接测量处于高温高压条件下的腔体内温度。 主权利要求:1.一种金刚石单晶生长腔体温度测量装置,其特征是:包括顶锤、夹持环和温度传感器,顶锤设置在夹持环的端部,温度传感器封装在夹持环内。
2.根据权利要求1所述的金刚石单晶生长腔体温度测量装置,其特征是:所述顶锤与夹持环的结合处呈弧形。
3.根据权利要求1所述的金刚石单晶生长腔体温度测量装置,其特征是:所述夹持环内设置有冷却水道,温度传感器位于冷却水道的上方。
4.根据权利要求1所述的金刚石单晶生长腔体温度测量装置,其特征是:所述温度传感器的封装孔底部设置有铜垫片。