2月13日,根据日本EDP公司官网,宣布成功开发出全球最大级别30x30mm以上的金刚石单晶,刷新行业纪录!此前30×30mm以上基板需采用多晶拼接技术,现可通过离子注入剥离技术实现大尺寸单晶基板。
大尺寸单晶金刚石衬底(32x31.5mm)。图源:EDP
据悉,日本EDP公司(株式会社EDP)是日本产业技术综合研究所(产总研)下属的一家高科技企业,主要致力于金刚石半导体技术的发展。EDP公司在金刚石半导体领域具有显著的技术优势和领先地位,其主要产品包括高浓度硼掺杂金刚石基板、人造金刚石生产用大型籽晶和半导体用大型基板等。
此前消息,2023年8月,EDP公司宣布成功开发了高浓度硼掺杂的金刚石基板,并实现了其商品化。这些基板包括低电阻自支撑金刚石基板和外延生长基板,尺寸限制在7mm×7mm,但通过11月推出的15x15mm单晶,成功扩大了低电阻基板的面积,实现了商品化。2024年10月,EDP公司宣布进一步开发了更大尺寸的单晶,尺寸达到10x10mm、0.2x0.3mm、12.5x12.5mm等,基本特性与2023年8月产品一致。