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　　申请号：201620008436.X
　　申请人：济南中乌新材料有限公司 山东贝斯特环境技术有限公司
　　发明人：王盛林 王笃福 王希江 王希玮 徐昌

　　摘要：一种金刚石单晶生长腔体温度的控制装置，包括控制器、电流测量模块、电压测量模块、变压器和可控硅调压器，可控硅调压器一方面与电源连接，一方面与变压器的初级侧连接，变压器的初级侧和次级侧均连接有电流测量模块和电压测量模块，可控硅调压器、电流测量模块和电压测量模块均与控制器连接。该装置结构简单，能够实时精确控制，采用了两级PID运算，根据变压器次级侧反馈值进行的PID运算为主PID值，根据初级侧反馈值进行的PID运算为次PID值，次PID对主PID进行微调后输出至可控硅调压器，可控硅调压器根据接收到的控制器控制电压/电流输出相应的电压，从而实现金刚石晶体生长腔体的电压或功率的实时控制。 　　主权利要求：1.一种金刚石单晶生长腔体温度控制装置，包括控制器、电流测量模块、电压测量模块、变压器和可控硅调压器，其特征是：可控硅调压器一方面与电源连接，一方面与变压器的初级侧连接，变压器的初级侧和次级侧均连接有电流测量模块和电压测量模块，可控硅调压器、电流测量模块和电压测量模块均与控制器连接。