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官方微信摘要 申请号：201410032014申请人：中国有色桂林矿产地质研究院有限公司摘要：本发明公开了一种多晶硅锭开方金刚石线锯装置，包括切割多晶硅锭的金刚石线锯，所述金刚石线锯包括环形金刚...
申请号：201410032014
申请人：中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
摘要：本发明公开了一种多晶硅锭开方金刚石线锯装置，包括切割多晶硅锭的金刚石线锯，所述金刚石线锯包括环形金刚石锯丝，至少两条以上环形金刚石锯丝分别由各自对应设置的导轮组张紧运转而形成X向相互平行的一组切割面，至少两条环形金刚石锯丝分别由各自对应设置的导轮组张紧而形成Y向相互平行的另一组切割面，两组切割面上的X向金刚石锯丝线族和Y向金刚石锯丝线族交叉形成方格形切割网。本发明采用多条环形金刚石锯丝排列成纵横的网状线切割多晶硅锭，有效利用环形金刚石锯丝单方向、无惯性力、高速运动的特性，可使加工效率相比往复式金刚石线锯装置提高3倍～5倍。
独立权利要求：
1.多晶硅锭开方金刚石线锯装置，包括切割多晶硅锭（3）的金刚石线锯机构，其特征在于：所述金刚石线锯机构包括环形金刚石锯丝（1），至少两条以上环形金刚石锯丝（1）分别由各自对应设置的导轮组张紧运转而形成X向相互平行的一组切割面，至少两条以上环形金刚石锯丝（1）分别由各自对应设置的导轮组张紧而形成Y向相互平行的另一组切割面，两组切割面上的X向金刚石锯丝（1）线族和Y向金刚石锯丝（1）线族交叉形成方格形切割网。3.根据权利要求2所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：两个平面的间距为5mm～20mm。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：所述导轮组包括两个以上导轮（2）。
5.根据权利要求4所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：两个以上导轮（2）中包括一个主动轮。
6.根据权利要求5所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：同组切割面各导轮组中的主动轮位置相对应，且同轴固连于传动轴上。
7.根据权利要求1～3中任意一项所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：所述X向金刚石锯丝（1）线族的线间距相等，Y向金刚石锯丝（1）线族的线间距相等。
豫公网安备41010202002335号