申请号:201320736185
申请人:宜兴市先行金刚石纳米涂层科技有限公司
摘要:一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置,包括真空炉罩、设置于真空炉罩的放置平台,所述真空炉罩近端部开设有进气口,底端开设有抽气口,其特征在于放置平台上方设置有热丝架,所述真空炉罩顶端正对拉丝以及拉丝模设置有风扇。颠覆了现有热丝法沉积金刚石薄膜的方法,有效防止模具内孔很小,热丝在加热过程中自身下垂与抖动损坏模具内孔表面,导致模具直接报废的现象,采用将热丝设置于拉丝模外进行沉积金刚石薄膜,提高了成品率,并且解决了微孔拉丝模沉积金刚石薄膜困难的问题,降低了生产成本。
独立权利要求:1.一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置,包括真空炉罩、设置于真空炉罩的放置平台,所述真空炉罩近端部开设有进气口,底端开设有抽气口,其特征在于放置平台上方设置有热丝架,所述真空炉罩顶端正对拉丝以及拉丝模设置有风扇。
2.根据权利要求1所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置,其特征在于所述热丝架上水平间隔缠绕有热丝,相邻热丝间的间距为8~10mm。
3.根据权利要求1所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置,其特征在于所述放置平台为可旋转的平台。