名称 | 一种用于蓝宝石衬底的研磨液及其制备方法 | ||
申请号 | 201210101944 | 申请日 | 2012年4月19日 |
公开号 | 102642175A | 公开日 | 2012年8月22日 |
申请人 | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 | 地址 | 江苏省常州市武进区前黄镇寨桥村 |
发明人 | 储耀卿 石剑舫 王善建; 石晓鑫 朱文超 | 主分类号 | C09G 1/02 |
国家/省市 | 国家/省市:中国浙江( 33 ) | 分类号 | C09G 1/02 |
摘要 | 本发明涉及蓝宝石晶体的研磨工序,属于晶体材料的加工技术领域。本发明提供了一种用于高质量蓝宝石衬底的研磨液,该研磨液由金刚石微粉、辅助性研磨粉、去离子水、甘油和添加剂配置而成。利用此方法配置的研磨液分散均匀,化学稳定性好;采用此方法配置的研磨液对蓝宝石晶体进行研磨,在保证衬底表面质量的前提下,提高研磨效率,有效地降低了加工成本。采用本发明的研磨液进行研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗,符合工业生产的需求。 | ||
独立权利要求 | 1.一种用于蓝宝石衬底的研磨液,其特征在于:该研磨液按每10升混合溶剂∶1~4升添加剂∶200~1200克混合研磨粉的配比关系混合而成;所述的混合溶剂由去离子水和甘油组成,去离子水和甘油的体积比为100∶1~10;所述的添加剂的成分包括质量百分比为55-70%的去离子水、10-28%的三乙醇胺、2-6%的十二烷基硫酸钠和3-18%的丙烯酸聚合物;所述的混合研磨粉为辅助研磨粉与金刚石微粉的混合物,辅助研磨粉与金刚石微粉的质量比为3∶10~60,辅助研磨粉为碳化硅、碳化硼和刚玉中一种或两种或三种的组合。 |
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