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一种金刚石圆锯片设计及锯切工艺参数的制定方法

申请号:201710014068.9申请人:中国地质大学(武汉)发明人:李波范勇张萌徐凯丁腾飞杨洋摘要:本发明涉及一种金刚石圆锯片设计及锯切工艺参数的制定方法,先运用模...

日期 2017-06-16   行业专利
硅晶片锯切工艺中线速度对表面损伤的影响

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作者:SindyWürzner,AnnemarieFalke,RajkoBuchwald,HansJoachim...

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