两个1克拉钻石的总价之和,肯定不如一个2克拉钻石的单价。但是,怎么样才能让他们生长到一起呢?
大尺寸晶圆级单晶金刚石,性能优异、需求迫切,可是现有的制备手段都面临各自的瓶颈,又该如何突破?
哈尔滨工业大学朱嘉琦教授团队研究了单晶金刚石拼接长大的问题。他们提出了单晶金刚石“同质连接”生长的概念,认为CVD金刚石制备方法中,马赛克式生长和图案化生长的本质共性都是同质连接,这一广义概念还囊括了单晶/多晶金刚石薄膜沉积的相似属性、机理和过程。生长过程中,要打破基底限制的瓶颈,以获得具有高晶体品质和多元结构的大尺寸金刚石自支撑薄膜。
相关的成果以“Coessential-connection by microwave plasma chemical vapor deposition: a common process towards wafer scale single crystal diamond”为题,发表在Functional Diamond 杂志上。(点击此处阅读原文)
通信作者
朱嘉琦博士,哈尔滨工业大学科学技术研究院院长,航天学院教授、博导,长江学者特聘教授,国家杰出青年基金,万人计划领军人才。主要从事光电晶体、薄膜及器件等研究,担任中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会副理事长、中国仪表材料学会副理事长、中国机械工程学会表面工程分会副主任。获得中国青年科技奖、省青年五四奖章等荣誉。负责的红外薄膜与晶体团队入选科工局国防科技创新团队。以负责人承担国家自然科学基金6项、国家重点研发计划课题1项,以及多个国防类重点项目,多项成果已实现产业化应用。获授权发明专利80余项,发表SCI论文240余篇。