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河北省激光研究所技术人员在CVD金刚石生产试验室检查操作系统

       12月3日上午，河北省激光研究所又一批高质量CVD（化学气相沉积）金刚石刀具产品如期发货美国，标志着该所2017年美国市场的产品订单全部完成。近年来，河北省激光研究所大力推进CVD金刚石材料研究与开发，产业化制备技术优势不断凸显，目前已成为世界范围内少数能生产高品级CVD金刚石的厂商之一，步入了产业化的快车道。

       “现在着力开发直径150毫米金刚石厚膜制备技术。实现150毫米直径金刚石厚膜的沉积，可拓展应用领域，提高生产效率。” 河北省激光研究所副所长王书生告诉《中国科学报》记者，截至目前河北省激光研究所金刚石相关项目共承担了近20项国家、省部级科研项目，获得省部级科技进步奖7项。

       河北省激光研究所隶属于河北省科学院。1992年该所开始涉足于CVD金刚石的研究与开发，1995年首次获得国家“863”计划项目支持，第二年年初通过验收，验收组认为：“高功率直流等离子体喷射CVD设备的研制成功使河北省激光研究所成为继美国的两家公司之后第三家能独立开发此种设备的单位，它不仅为金刚石膜的工具和热沉应用提供了备选的工业化制备技术，而且为我国从事金刚石膜的光学应用奠定了设备基础。”

       据悉，之后该项目又连续两次获得国家“863”计划支持。

       王书生介绍，DCArc-CVD技术在所有制备CVD金刚石方法中，沉积质量高、生长速率最快，这使该所在产业化制备技术方面逐步确立了在国内的领导地位。同时他们在全球率先推出透明的机械级CVD金刚石，以其极高的性价比引起欧美市场的广泛关注，并很快取得了全球领先的市场份额。近年随着该所金刚石制备技术的提高，金刚石膜面积增大，生产效率提升，性价比提高，促使跨国公司E6、美国公司SP3退出厚膜工具产品的市场。

       “我们自行制备的金刚石膜材料于首次中标上海光源工程（国家大科学工程）光源前端区X射线荧光靶探测器后，上海应用物理所又提出了新的技术要求，经过项目组努力，满足了各项技术指标要求，全部替代了国际跨国公司E6的产品。”河北省科学院科技产业开发处副处长李洪波介绍，目前其CVD金刚石典型应用及技术服务包括：一主要用于精密机械加工的工具级金刚石膜，如修整器坯料、耐磨器件、刀具坯料。其中出口国外的高性能的金刚石坯料用于制造高精密的修整滚轮，为全自动磨床各种复杂形状的砂轮做精密修整。加工领域涉及航空航天、新能源中大型风能发电装置等。二用于散热的热学级金刚石膜，它是大功率发光二极管优异的散热材料，作为荧光靶成功使用于国家大型科学工程——上海光源，完全替代进口产品。三作为光学窗口的光学级金刚石膜，主要应用于高功率激光器窗口，高速飞行器窗口材料等。