最新科技成果项目介绍——脉冲激光沉积法（PLD）制备纳米薄膜_资讯

最新科技成果项目介绍——脉冲激光沉积法（PLD）制备纳米薄膜

关键词科技成果 , 介绍 , 薄膜|2009-07-18 00:00:00|来源中国超硬材料网

摘要项目介绍：随着激光器性能的不断提高，在众多的薄膜制备方法中，PLD技术的应用最为广泛，可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜，...

　　项目介绍：
　　随着激光器性能的不断提高，在众多的薄膜制备方法中，PLD技术的应用最为广泛，可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜，甚至还用来制备一些难以合成的材料膜，如金刚石、立方氮化物膜等，并取得了很大的成功。
　　
　　工作原理：
　　在制膜腔内，用透镜将一束强脉冲激光汇聚成一个很小的光斑，打在靶材料上，受到激光光斑照射的靶材料瞬时被气化、电离，形成一团等离子体，高速向外喷射，从而在衬底上沉积形成一层薄膜。
　　
　　系统构成：
　　（1）、准分子激光器
　　（2）、PLD沉积系统

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