摘要 美国圣弗朗西斯科讯戴比尔集团人造金刚石分公司-元素六,于2013年美国西部光电展上宣布该公司加利福尼亚工厂将增加50%人造金刚石晶片产量。元素六公司增加的产量将满足日益增长的光学窗...
美国圣弗朗西斯科讯 戴比尔集团人造金刚石分公司-元素六,于2013年美国西部光电展上宣布该公司加利福尼亚工厂将增加50%人造金刚石晶片产量。元素六公司增加的产量将满足日益增长的光学窗产品需求,该产品是一种激光等离子极端紫外线(英文简写为:EUV)光刻系统部件。人造金刚石光学窗是一款易替代传统光学材料产品,实现低缺陷率并确保无以伦比系统性能,技术负责人阿德里安·威尔逊。
化学气相沉积技术利用特性制造合成窗,适合高能量二氧化碳激光和高穿透的EUV加工技术,因此实现光刻系统最佳成本率和生存率。(翻译:王晗)