1 切割能力需求
切割能力通常体现在三个方面:一是切割效率,二是耐用度、三是线弓比大小。切割效率通常用单刀切割用时来表示,耐用度通常是用单刀切割用线长度来表示,线弓比是指线锯在切割时线锯的弯曲程度。
线锯产品哪些特性与切割能力有关,必须搞清楚,这样才能做到有的放矢、对症下药,才能采取有效措施提高切割能力。影响切割能力的线锯特性主要包括:线锯表面磨粒的出刃高度、出刃率、磨粒在线锯表面的粘结牢固程度等。目前70、80线的出刃高度通常在6~8μm之间、磨粒出刃率在80~400粒/mm不等。用户也需要根据切割对象、切割机的特性选择合适的线锯产品,制定相应的切割参数,才能获得理想的切割能力。
2 切割质量需求
切割质量需求主要包括以下指标:划伤、线痕、崩口、TTV等。划伤是指:由于线锯表面存在大的镍瘤或者出刃高度过大的磨粒,在切割过程中将硅片划出的明显沟痕;线痕是由于团聚颗粒的挤压在硅片上留下的切割痕迹;划伤在硅片表面有损伤,线痕是由于表面应力造成的痕迹,表面没有损伤。虚高磨粒过多容易造成崩口、TTV等。除了线锯本身的因素外,切割参数设置的不合理也会导致上述缺陷的产生。
不同系列的线锯产品,本身的特性对应着一套最佳的切割参数。如果切割参数与线锯本身的品级特性不协调,切割过程也会造成切割缺陷。作为线锯生产者,要知道用户需要是什么样的线锯,作为使用者也要知道如何辨别线锯的品级系列,并根据线锯的品级系列,采用相应的切割工艺参数。
由于最近两年线锯生产和应用技术发展较快,部分生产企业不知道线锯的品级系列与应用要求要相适应、如何适应;部分应用企业也不知道线锯的品级系列与切割工艺参数要协调一致。
3 断线率
线锯在切割过程中,经常会出现断线,而断线会给应用企业带来比较大的麻烦,因此应用企业明确要求线锯的断线率要低。
造成断线的因素比较多,有线锯产品本身的影响,也有切割机性能的影响,也有切割参数不合理的影响。线锯本身抗拉强度或屈服强度不够,这必定会造成断线;如果线锯切割力不够,切割能力低也会造成断线;切割参数与线锯系列不协调也会导致断线。导致断线的因素是多方面的,不能简单的说是线锯质量不好,要具体问题具体分析。
4 抗氧化耐腐蚀
线锯用户除了有上述三种主要需求之外,还要求线锯抗氧化耐腐蚀性要好。否则,在开卷后没几天,线锯表面就出现了氧化腐蚀现象,时间稍长几天,就会严重影响线锯的切割能力,导致新线好用,过几天就不好用了。
线锯生产企业应标注产品有效期,在生产工艺中要有意识地采取抗氧化和防腐蚀措施。