用类金刚石碳镀覆刃口的方法 _专利

用类金刚石碳镀覆刃口的方法

关键词类金刚石 , 碳镀 , 覆刃口 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称用类金刚石碳镀覆刃口的方法公开号1260843公开日2000.07.19主分类号C23C16/26

名称	用类金刚石碳镀覆刃口的方法
公开号	1260843	公开日	2000.07.19
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	98806296.8
分案原申请号		申请日	1998.06.11
颁证日		优先权	[32]1997.6.18[33]US[31]08/878,222
申请人	东北大学	地址	美国马萨诸塞
发明人	J·A·霍普伍德; D·L·帕帕斯	国际申请	PCT.US98/12270 1998.6.11
国际公布	WO98.58097 英 1998.12.23	进入国家日期	1999.12.16
专利代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	段承恩
摘要	本发明涉及在基体（22）上形成类金刚石碳膜的方法，包括的步骤为：将所述基体暴露在一种烃类气体环境中，并且，在所述环境中，在高离子通量和可控的、低离子能量轰击的条件下，产生电子密度大于约5×10#+[10]／cm#+[3]和覆层厚度小于约2mm的等离子体。而且，本发明还涉及一种制成品，它包括：具有一个表面的基体和在所述表面上的类金刚石碳膜，其中所述膜的硬度高于约20GPa，而且，在采用场发射扫描电子显微镜，在50，000X的放大倍数下观察时，所述膜中不存在可分辨的直径等于或大于300Ａ的晶粒

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