稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法 _专利

稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法

关键词稀土化合物 , 浆料 , 金刚石 , 厚膜 , 表面刻蚀|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法公开号1258765公开日2000.07.05主分类号C30B33/08

名称	稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法
公开号	1258765	公开日	2000.07.05
主分类号	C30B33/08	分类号	C30B33/08
申请号	99124562.8
分案原申请号		申请日	1999.12.10
颁证日		优先权
申请人	吉林大学	地址	130012吉林省长春市朝阳区前卫路10号
发明人	王佳宇; 陈宏宇; 白亦真; 金曾孙	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	吉林大学专利事务所	代理人	王恩远
摘要	本发明属金刚石厚膜的表面刻蚀方法。采用稀土化合物浆料，如以氧化铈和硝酸镧为原料的浆料，印刷于金刚石厚膜生长面，再经４００～６００℃烧结２～５小时，最后用浓硫酸清洗。浆料是将原料与溶剂混合研磨再加调和剂配制而成。本发明原料便宜用量少，可刻蚀工艺简单，不需要真空高温的苛刻条件和复杂设备，成本降低；刻蚀效果好，能减小机械抛光时间；浆料丝网印刷可图形化。这些都利于金刚石厚膜在电子封装领域中的应用。

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