在真空中生成金刚石般碳涂层的方法 _专利

在真空中生成金刚石般碳涂层的方法

关键词真空 , 碳涂层|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称在真空中生成金刚石般碳涂层的方法公开号1258322公开日2000.06.28主分类号C23C14/06&nbs

名称	在真空中生成金刚石般碳涂层的方法
公开号	1258322	公开日	2000.06.28
主分类号	C23C14/06	分类号	C23C14/06;C23C14/22;C23C14/32
申请号	98805586.4
分案原申请号		申请日	1998.05.28
颁证日		优先权	[32]1997.5.30[33]RU[31]97108626
申请人	帕蒂纳公司	地址	挪威奥斯陆
发明人	瓦勒里·P·冈查伦科; 亚历山大·J·科尔帕科夫; 安纳	国际申请	PCT.NO98/00158 1998.5.28
国际公布	WO98.54376 英 1998.12.3	进入国家日期	1999.11.29
专利代理机构	柳沈知识产权律师事务所	代理人	张平元
摘要	一种在真空中生成金刚石般碳涂层的方法，包括以下步骤：将部件表面预处理；将部件放入真空室中；用加速离子处理部件的表面；在经处理的部件表面涂上一亚表层；从阴极斑点对石墨阴极进行电弧真空溅射从而生成碳等离子体；将碳等离子体的离子加速；将所生成的碳等离子体沉积在部件表面从而生成金刚石般的碳涂层。采用脉冲电弧放电在石墨阴极的端表面激发一组阴极斑点，所述的斑点以10－30米每秒的速度沿阴极的端表面移动，生成离子能量为40－100电子伏特的碳等离子体，等离子体中离子浓度为 10#+[12]－10#+[14]每立方厘米，部件在真空室中电绝缘。以及控制脉冲循环频率来维持部件的温度在200－450K。

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