大面积类金刚石碳膜低温制备方法及装置 _专利

大面积类金刚石碳膜低温制备方法及装置

关键词类金刚石碳膜 , 低温制备 , 装置 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称大面积类金刚石碳膜低温制备方法及装置公开号1196401公开日1998.10.21主分类号C23C16/26&n

名称	大面积类金刚石碳膜低温制备方法及装置
公开号	1196401	公开日	1998.10.21
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	97103251.3
分案原申请号		申请日	1997.04.17
颁证日		优先权
申请人	哈尔滨工业大学	地址	150001黑龙江省哈尔滨市西大直街92号
发明人	夏立芳; 孙明仁; 马欣新; 孙跃	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	哈尔滨工业大学专利事务所	代理人	李依群
摘要	本发明提出一种材料表面大面积类金刚石碳膜低温制备方法及装置，具体说是在密闭的真空室内充入含碳气体，并对工件施加负高压电脉冲，激发等离子体，在工件温度不变的条件下，在其表面形成一层膜基间无界面的大面积类金刚石碳膜。其装置为一个具有封闭磁场的真空室，室外设高压脉冲电源及磁场，室内设工件台或支架及高电压引入电极，以及油冷、水冷系统。采用本发明可以对成批工件，在其表面制取一层无界面的高结合力的类金刚石碳膜。

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