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申请号: 201720439924.0

申请日: 2017.04.21

申请人: 中国科学院金属研究所

发明人: 姜辛; 刘鲁生; 黄楠; 杨兵; 王宜豹

       摘要： 

       本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。本实用新型结构简单、成本低廉，制备出的金刚石刀具涂层厚度均匀、金刚石薄膜质量高。

       主权利要求:

       一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。