金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺 _专利

金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺

关键词金刚石 , 红外增透 , 保护薄膜 , 制备工艺 |2010-12-09 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺公开号1094455公开日1994.11.02主分类号C23C16/26&nbs

名称	金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺
公开号	1094455	公开日	1994.11.02
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	93112643.6
分案原申请号		申请日	1993.12.30
颁证日		优先权
申请人	复旦大学	地址	200433上海市邯郸路220号
发明人	沈元华; 应萱同	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	复旦大学专利事务所	代理人	陆飞
摘要	用人工化学气相沉积技术制备的金刚石多晶薄膜可以作为红外增透保护膜，其硬度为６０００～１００００ｋｇ／ｍｍ#+[２]，不怕酸、碱腐蚀，大气中耐温５００℃以上，可在恶劣环境条件下使用。该膜采用基板超声预处理，在优化工艺条件下人工化学气相沉积等技术措施制备。本发明可广泛应用于冶金、化工、航天航空、军事等工业和科研领域，如工业生产线上的红外在线探测、战地及野外环境中的红外夜视仪等。可提高仪器的灵敏度、频率选择性及稳定性等，并能大幅度地延长仪器的使用寿命。

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