激光窗口材料氯化钾晶体类金刚石防潮保护膜 _专利

激光窗口材料氯化钾晶体类金刚石防潮保护膜

关键词激光 , 氯化钾 , 金刚石 , 防潮保护膜 |2010-12-09 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称激光窗口材料氯化钾晶体类金刚石防潮保护膜公开号1066332公开日1992.11.18主分类号G02B1/02&

名称	激光窗口材料氯化钾晶体类金刚石防潮保护膜
公开号	1066332	公开日	1992.11.18
主分类号	G02B1/02	分类号	G02B1/02;G02B1/10;C23C14/06;C23C14/34
申请号	91102583.9
分案原申请号		申请日
颁证日		优先权
申请人	北京科技大学	地址	100083北京市学院路30号
发明人	吕反修; 杨保雄; 叶锐曾; 程德刚; 于文秀; 孙金标	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	北京科技大学专利代理事务所	代理人
摘要	本发明提供了一种强激光窗口材料ＫＣｌ晶体类金刚石防潮保护碳膜的制造方法，即采用高纯石墨靶在高纯氢气气氛中的直流溅控溅射方法制备类金刚石碳膜。其溅射功率为１００—１２００瓦，氩压为５—１３Ｐａ，并在溅射前“洗靶”。类金刚石碳膜沉积速率为５—６０Ａ／ｍｉｎ，与ＫＣｌ晶体有良好的附着力。适合于千瓦级以上工业和军事高功率ＣＯ#-[２]激光ＫＣｌ窗口和透镜的防潮保护膜，也适合于一般中小功率红外光学器件及其它各种红外光学材料。

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