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　　碳化硅制造过程产生粉尘的作业点较多。粉尘最大的作业点是冶炼干法扒料，分级等。
　　 制粒车间空气中悬浮的粉尘粒度大致如下：5μm以下粒子占66.6%~92.5%，10μm以上占4.8%~22%。粉尘中SiC占95%以上，SiO2含量为0.35%~3.58%。对碳化硅车间进行技术改造。焦炭加工及制粒工序取密闭除尘方法，装炉工序采取湿料作业方法，获得了极付款效果（表2-11-5）
　　
　　表2-11-5 碳化硅车间粉尘浓度典型数据（mg/m³）
　　作业点 焦炭加工 装炉 结晶块分级 制粒
　　技术改造前 240 290 － 138~600
　　技术改造后 10 12.83 76.1 3.5~17
　　
　　 碳化硅粉尘符合TJ36－79中“其他粉尘”条件，即游离二氧化硅含量在10%以下，因此浓度标准可定为10mg/m³。
　　
　　表2-11-6 车间空气中生产性粉尘最高容许浓度（TJ36－79）
　　有害物名称 最高容许浓度（mg/m³）
　　含有10%以上游离二氧化硅的粉尘（石英，石英岩等）① 2.0`
　　石棉粉尘及含有10%以上石棉的粉尘 2.0
　　含有10%以下的游离二氧化硅的滑石粉尘 4.0
　　玻璃棉及矿渣棉粉尘 5.0
　　含有10%以下游离二氧化硅的水泥粉尘 6.0
　　烟草及茶叶粉尘 3.0
　　含有10%以下游离二氧化硅的煤尘 10
　　其他粉尘② 10
　　铝，氧化铝，铝合金粉尘 4.0
　　表：①含有80%以上游离二氧化硅的生产性粉尘，宜不超过1 mg/m³。
　　②其他粉尘系指游离二氧化硅含量在10%以下，不含有毒物质的矿物性和动植物性粉尘。
　　
　　 《工业“三废”排放试行标准》GBJ4－73的13类有害物质排放标准中规定，第二类生产性粉尘排放浓度为150 mg/m³。碳化硅制造过程的粉尘排放标准一般按此考虑。