金融界 2024 年 9 月 8 日消息,天眼查知识产权信息显示,江苏富乐华半导体科技股份有限公司取得一项名为“一种金刚石激光热沉基板制备方法“,授权公告号 CN118291936B,申请日期为 2024 年 4 月 。
专利摘要显示,本发明涉及热沉基板技术领域,具体为一种金刚石激光热沉基板制备方法。本发明利用金刚石材料的高导热率将其应用于高功率半导体激光器,可显著提高激光器的散热效果,大大提高了激光器的应用范围。本发明还通过对金刚石瓷片进行磁控溅射处理,溅射种子 Ti 层和种子 Cu 层,然后再电镀金属层,使其可以更好地应用于半导体激光器领域。本发明在镀金后的基板上还镀了改性纳米氮化硼层,纳米氮化硼的导热性能优异,在纳米氮化硼上复合了二氧化硅,二氧化硅的复合可以提高基板的耐腐蚀性和耐磨性;同时还加入了缓蚀剂 1‑氨基苯并三唑做进一步改性,进一步提高了基板的耐腐蚀性。