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　　申请号：201621121129.9
　　申请人：苏州赛尔科技有限公司
　　发明人：刘学明 冉隆光 陈昱

　　摘要： 本实用新型公开了一种金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，包括圆环形刀身，其特征在于所述圆环形刀身外圆周的刃口表面等角度间隔设有若干开槽，所述开槽的两边与底部圆弧过渡，该过渡处R1角弧度为0.3~0.6；同时开槽两边与刃口表面圆弧过渡，该过渡处的R2角弧度为1.2~1.4。本实用新型的开槽利于刀片切割时的散热和排屑，能够提高切割速度和切割品质，并且延长划片刀使用寿命。 　　主权利要求：1.一种金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，包括圆环形刀身（1），其特征在于所述圆环形刀身（1）外圆周的刃口（2）表面等角度间隔设有若干开槽（3），所述开槽（3）的两边与底部圆弧过渡，该过渡处R1角弧度为0.3~0.6；同时开槽（3）两边与刃口表面圆弧过渡，该过渡处的R2角弧度为1.2~1.4。
　　2.根据权利要求1所述的金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，其特征在于所述开槽（3）的两边与底部圆弧过渡，该过渡处R1角弧度为0.5；同时开槽两边与刃口表面圆弧过渡，该过渡处的R2角弧度为1.32。
　　3.根据权利要求1所述的金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，其特征在于所述开槽（3）深度h为圆环形刀身（1）径向宽度H的1/10~1/5。
　　4.根据权利要求1或3所述的金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，其特征在于所述圆环形刀身（1）的外径D=180~200mm，内径d=140~160mm，所述开槽（3）宽度L为0.5~1.5mm。
　　5.根据权利要求4所述的金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，其特征在于所述圆环形刀身（1）的外径D=190~200mm，内径d=150~160mm，所述开槽（3）宽度L为0.8~1.5mm。
　　6.根据权利要求1所述的金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀，其特征在于所述开槽（3）的数量为16~32个。