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　　申请号：201610685787.9
　　申请人：哈尔滨工业大学
　　发明人：白清顺 余天凯 王永旭 杜云龙 张庆春 刘亚忠

　　摘要：微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。 　　主权利要求：1.一种微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，其特征在于：它包括底座(15)、固定电极组件、移动电极组件和真空陶瓷电极组件；所述的固定电极组件包括固定端立柱(1)、固定端大电极(2)、固定端小电极(3)及三根热丝(4)；所述的移动电极组件包括移动板(6)、移动端小电极(7)、支撑板(10)、移动端立柱(11)、四个吊环螺钉(5)、两个拉伸弹簧(8)及两个弹簧固定安装块(9)，所述的两个弹簧固定安装块(9)分别是弹簧固定安装块一(9-1)和弹簧固定安装块二(9-2)；所述的固定端立柱(1)的下端可拆卸固定于底座(15)上，所述的固定端大电极(2)可拆卸固定于固定端立柱(1)上端，所述的固定端小电极(3)可拆卸固定于固定端大电极(2)上端；所述的移动端立柱(11)与固定端立柱(1)相对设置，移动端立柱(11)的下端可拆卸固定于底座(15)上，移动端立柱(11)的上端固定有支撑板(10)，所述的弹簧固定安装块二(9-2)可拆卸固定于支撑板(10)上，所述的移动板(6)滑动设置在支撑板(10)上，且移动板(6)与固定端小电极(3)相对设置，所述的弹簧固定安装块一(9-1))可拆卸固定在移动板(6)上，所述的移动端小电极(7)与弹簧固定安装块一(9-1)可拆卸固定连接，两个弹簧固定安装块(9)相对设置，所述的两个拉伸弹簧(8)水平并列设置在两个弹簧固定安装块(9)之间，每个拉伸弹簧(8)的两端各通过一个吊环螺钉(5)与两个弹簧固定安装块(9)的相对侧面固定连接，所述的三根热丝(4)的其中一根热丝(4)的一端与固定端小电极(3)可拆卸固定连接，三根热丝(4)的另两根热丝(4)的一端均与固定端大电极(2)可拆卸固定连接，三根热丝(4)的另一端均与移动端小电极(7)可拆卸固定连接，三根热丝(4)呈现空间平行排布；所述的真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极(3)及移动端小电极(7)电连接。
　　2.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，其特征在于：所述的三根热丝(4)在垂直面上的投影呈现等腰三角形排布。
　　3.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，其特征在于：所述的固定端小电极(3)的上端面沿三根热丝(4)的排布方向设置有半圆形导槽一(3-1)，所述的固定端大电极(2)的上端面沿三根热丝(4)的排布方向设置有两个半圆形导槽二(2-1)，所述的移动端小电极(7)的上端面沿三根热丝(4)的排布方向设置有三个半圆形导槽三(7-1)。
　　4.根据权利要求1、2或3所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，其特征在于：所述的固定端小电极(3)和移动端小电极(7)均由钼材料制成。
　　5.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，其特征在于：所述的固定端立柱(1)由氮化硼陶瓷材料制成。
　　6.根据权利要求1所述的微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，其特征在于：所述的真空陶瓷电极组件包括真空陶瓷电极(12)、两条云母高温线(13)和四个压接端子(14)；所述的两条云母高温线(13)的两端分别固定有一个压接端子(14)，两条云母高温线(13)的其中一条云母高温线(13)的一端通过压接端子(14)与固定端小电极(3)电连接，该其中一条云母高温线(13)的另一端通过压接端子(14)与真空陶瓷电极(12)一端电连接，两条云母高温线(13)的另一条云母高温线(13)的一端通过压接端子(14)与移动端小电极(7)电连接，该另一条云母高温线(13)的另一端通过压接端子(14)与真空陶瓷电极(12)另一端电连接。