申请人:浙江晶盛机电股份有限公司
发明人:傅林坚 何守龙 曹建伟 沈文杰 朱亮 卢嘉彬 邱文杰 沈加富 邱敏秀
摘要:本实用新型涉及单晶硅棒加工专用切割设备,旨在提供一种金刚线单晶硅棒切方设备。该种金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮,工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒,且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。本实用新型结构紧凑,布局合理;本实用新型采用金刚石线锯切割,切割刀痕小,切割面质量高,大大减少了原材料的损耗;本实用新型大大改善了工作环境,实现了环保生产。 主权利要求:1.一种金刚线单晶硅棒切方设备,包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮,其特征在于,所述龙门架设有两个,分别为左龙门架和右龙门架;所述排线安装架设有两个,分别为左排线安装架和右排线安装架;所述张力电机安装架设有两个,分别为左张力电机安装架和右张力电机安装架;所述张力电机设有两个,分别为左张力电机和右张力电机;所述张力臂设有两个,分别为左张力臂和右张力臂;所述过渡导轮设有五个,分别为第一过渡导轮、第二过渡导轮、第三过渡导轮、第四过渡导轮和第五过渡导轮;所述张力导轮设有两个,分别为左张力导轮和右张力导轮;所述进刀单元设有四个,分别为第一进刀单元、第二进刀单元、第三进刀单元和第四进刀单元;所述排线部件设有两个,分别为左排线部件和右排线部件,排线部件用于将金刚石线均匀排布在收放线部件上;所述收放线部件设有两个,分别为左收放线部件和右收放线部件,收放线部件用于实现金刚石线的往复运动;所述线偏检测部件设有两个,分别为左线偏检测部件和右线偏检测部件,线偏检测部件用于检测收放线部件上的金刚石线是否均匀分布;所述左排线安装架安装在大底架的左侧,左排线部件安装在左排线安装架的上方;所述左收放线部件安装在左排线部件的上方;所述左龙门架安装在大底架的左上方,左张力电机安装架安装在左龙门架的上方,左线偏检测部件安装在左龙门架的外侧,第一进刀单元和第四进刀单元安装在左龙门架的内侧;所述左张力电机安装架上安装有第一过渡导轮、第二过渡导轮、左张力电机、左张力臂,所述左张力导轮安装在左张力臂上;所述右排线安装架安装在大底架的右侧,右排线部件安装在右排线安装架的上方;所述右收放线部件安装在右排线部件的上方;所述右龙门架安装在大底架的右上方,右张力电机安装架安装在右龙门架的上方,右线偏检测部件安装在右龙门架的外侧,第二进刀单元和第三进刀单元安装在右龙门架的内侧;所述右张力电机安装架上安装有第三过渡导轮、第四过渡导轮、右张力电机、右张力臂,所述右张力导轮安装在右张力臂上;所述第五过渡导轮安装在左龙门架和右龙门架之间;所述工作台头座和工作台尾座安装在大底架的正上方,工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒,且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。
2.根据权利要求1所述的一种金刚线单晶硅棒切方设备,其特征在于,所述第一进刀单元上安装有第一进刀导轮,第一进刀单元能够独立控制第一进刀导轮在竖直方 向上的进刀速度和进刀深度。
3.根据权利要求1所述的一种金刚线单晶硅棒切方设备,其特征在于,所述第二进刀单元上安装有第二进刀导轮,第二进刀单元能够独立控制第二进刀导轮在竖直方 向上的进刀速度和进刀深度。
4.根据权利要求1所述的一种金刚线单晶硅棒切方设备,其特征在于,所述第三进刀单元上安装有第三进刀导轮,第三进刀单元能够独立控制第三进刀导轮在竖直方 向上的进刀速度和进刀深度。
5.根据权利要求1所述的一种金刚线单晶硅棒切方设备,其特征在于,所述第四进刀单元上安装有第四进刀导轮,第四进刀单元能够独立控制第四进刀导轮在竖直方 向上的进刀速度和进刀深度。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种金刚线单晶硅棒切方设备,其特征在于,所述第五过渡导轮上设有测速装置,能够对金刚石线的线速度进行实时检测获取。