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　　申请号：201420738188.5

       申请人：常州宝颐金刚石科技有限公司

       发明人：史玉芬 周学芹 刘小利

       摘要： 本实用新型公开了一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内，置于谐振腔腔体内的基台上，托盘的中心端面开设有凹坑，所述凹坑出口端与托盘端面所在水平面是由斜面过渡连接，所述凹坑大于等于1个，本实用新型是将托盘中心设计成一种凹坑，在金刚石生长过程中能够降低电磁场的不连续性，抑制籽晶边缘处的过快生长，提高金刚石单晶的品质。

       主权利要求：1.一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特征在于：用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体(1)内，置于谐振腔腔体内的基台(2)上，托盘(3)的中心端面开设有凹坑(4)，所述凹坑(4)出口端与托盘(3)端面所在水平面是由斜面(5)过渡连接，所述凹坑(4)大于等于1个。

       2.根据权利要求1所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述托盘(3)呈圆柱状，且所述凹坑(4)为台阶孔。

       3.根据权利要求1所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述凹坑(4)为1个时，位于托盘上端的中心部位。

       4.根据权利要求1所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述凹坑(4)为多个时，对称分布在托盘(3)上端的中心部位。

       5.根据权利要求1所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述托盘(3)的直径Φ为15～75mm，高度h1为10～80mm。

       6.根据权利要求1所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述凹坑(4)形状由两种立体形状组合而成，所述凹坑(4)的下部 和中部呈四方体状，上部呈正四棱台状。

       7.根据权利要求6所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：上部正四棱台状凹坑(4)的横截面为上底面大下底面小的结构，其中 上底面边长d2为4.5～13.5mm，下底面边长与凹坑(4)中部四方体的底面边长 大小相同，为3.5～12.5mm，深度h3为0.5～1mm。

       8.根据权利要求7所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述凹坑(4)的底部四方体状的边长d1为3～12mm，深度h2为1～7mm。

       9.根据权利要求8所述的一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，其特 征在于：所述凹坑(4)中部四方体状凹坑的底面边长为3.5～12.5mm，深度h3 为0.5～1mm。