申请人:中卫市银阳新能源有限公司
摘要: 本实用新型公开了一种硅棒抛光装置,包括驱动机构和砂轮,所述砂轮螺接在驱动机构的驱动轴上;还包括防护罩和冷水箱,所述防护罩为环形,其内部设置有冷却槽,所述冷却槽内侧设有喷水孔,所述防护罩固定在驱动机构上;所述冷水箱通过管道与冷却槽连通;所述砂轮为金刚石砂轮。本实用新型有效解决了硅棒上锯痕、“鼓肚”等问题,且抛光过程中利用水冷却,粉尘由水带出,减少了对工作环境的污染。
主权利要求:1.一种硅棒抛光装置,包括驱动机构(1)和砂轮(2),所述砂轮(2)螺接在驱动机构(1)的驱动轴上;其特征在于,还包括防护罩(3)和冷水箱(4),所述防护罩(3)为环形,其内部设置有冷却槽(301),所述冷却槽(301)内侧设有喷水孔(302),所述防护罩(3)固定在驱动机构(1)上;所述冷水箱(4)通过管道与冷却槽(301)连通;所述砂轮(2)为金刚石砂轮。
2.如权利要求1所述的硅棒抛光装置,其特征在于,所述防 护罩(3)为截面呈“凹”形的环形防护罩,所述防护罩(3)端面内 径不大于砂轮直径。
3.如权利要求1所述的硅棒抛光装置,其特征在于,所述防 护罩(3)通过螺栓固定在驱动机构(1)上。
4.如权利要求1所述的硅棒抛光装置,其特征在于,所述喷 水孔(302)均匀设置在冷却槽(301)内侧。
5.如权利要求1所述的硅棒抛光装置,其特征在于,所述防 护罩(3)为金属防护罩。
6.如权利要求1-5任一项所述的硅棒抛光装置,其特征在于, 所述防护罩(3)底端设置有供冷却水流出的开口。