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晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置

关键词 晶硅硅片 , 金刚石切割线|2012-07-19 10:33:44|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要 名称晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置申请号201210062228申请日2012年3月9日公告号102544240A公

 

名称 晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置
申请号 201210062228 申请日 2012年3月9日 
公告号 102544240A 公告日 2012年7月4日
代理机构  济南圣达专利商标事务所有限公司( 37221 ) 代理人 王立晓
申请人 润峰电力有限公司  地址 山东省济宁市微山县微山经济开发区润峰工业园 
发明人 杨雷 何晨旭 殷海亭 凌振江 王冬松 王步峰 主分类号 H01L 31/18
国家/省市 中国山东( 37 ) 分类号 H01L 31/18 B28D 5/00
摘要   本发明涉及一种晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置,装置包括由一个出线轮、两个张力轮、多个导轮、两个辊轮、一个收线轮及缠绕在它们上面的金刚石切割线组成的切割线运动系统,辊轮与电机相连带动金刚石切割线运动,张力轮控制金刚石切割线的张力,两个辊轮之间对应的金刚石切割线上方设有固定装置,固定装置上固定有硅块,辊轮、导轮及缠绕在其上的金刚石切割线置于盛有制绒切削液的液槽内。将制绒切削液注入到切片机的液槽内,浸没金刚石切割线和硅块;转动辊轮,逐渐缓慢下压硅块接触金刚石切割线进行切片。本发明可以有效的解决切片过程中所产生的应力问题,使得切片和制绒能够同时进行,减少了化学品和工艺设备的使用,缩短了工艺流程。
独立权利要求 1.晶硅硅片的切片制绒一体化装置,其特征是,包括由一个出线轮、两个张力轮、多个导轮、两个辊轮、一个收线轮及缠绕在它们上面的金刚石切割线组成的切割线运动系统,辊轮与电机相连带动金刚石切割线运动,张力轮控制金刚石切割线的张力,两个辊轮之间对应的金刚石切割线上方设有固定装置,固定装置上固定有硅块,辊轮、导轮及缠绕在其上的金刚石切割线置于盛有制绒切削液的液槽内。

附件:视图说明

 

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