化学气相沉积金刚石均质喷嘴 _专利

化学气相沉积金刚石均质喷嘴

关键词化学气相沉积 , 金刚石 , 均质喷嘴 |2010-12-23 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称化学气相沉积金刚石均质喷嘴公开号2423289公开日2001.03.14主分类号C23C16/27

名称	化学气相沉积金刚石均质喷嘴
公开号	2423289	公开日	2001.03.14
主分类号	C23C16/27	分类号	C23C16/27
申请号	00236609.6
分案原申请号		申请日	2000.05.24
颁证日	2001.01.27	优先权
申请人	北京天地东方金刚石技术有限责任公司	地址	100018北京市733信箱
发明人	周兵;陈继锋;刘志平;刘广录;郭松寿;张柏春	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	汤保平
摘要	一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，是包含有：一进料均质片，在该进料均质片的中间位置开有两个进料口；一共振均质片，在该共振均质片的中间位置开有一共振腔口；一出料均质片，在该出料均质片的中间位置开有一出料口；将所述进料均质片、共振均质片、出料均质片依次叠置形成均质喷嘴。本实用新型具有成本低、加工制作容易和使用效果好的优点。

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