名称 | 批量生产CVD金刚石片的灯丝工装 | ||
公开号 | 2373459 | 公开日 | 2000.04.12 |
主分类号 | C30B29/04 | 分类号 | C30B29/04;H01K3/00 |
申请号 | 98205844.6 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1998.06.09 | |
颁证日 | 2000.02.19 | 优先权 | |
申请人 | 曲承林; 曲天亮 | 地址 | 266045山东省青岛市商丘路二号一单元301室 |
发明人 | 曲承林 | 国际申请 | |
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 代理人 | ||
摘要 | 一种适合热丝CVD法批量生产金刚石片的灯丝工装,它是在已有架设灯丝的电极上增加了可在电极上移动的滑块,其位移可抵消灯丝热膨胀所产生的伸长量,使灯丝始终保持直线状态,工作参数稳定;停电时,灯丝收缩使滑块向回运动,灯丝不断裂。同时还增加了支架、灯丝定位板和电极定位板,可用它们将灯丝做成“灯丝总成”,然后再移到系统中的电极上。用该工装装配灯丝,省时,重复性好,并可保证工艺的稳定性 |