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批量生产CVD金刚石片的灯丝工装

关键词 CVD金刚石片 , 灯丝工装 |2010-12-23 00:00:00|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要 名称批量生产CVD金刚石片的灯丝工装公开号2373459公开日2000.04.12主分类号C30B29/04&nbs

 

名称 批量生产CVD金刚石片的灯丝工装 
公开号 2373459  公开日 2000.04.12   
主分类号 C30B29/04  分类号 C30B29/04;H01K3/00 
申请号 98205844.6   
分案原申请号   申请日 1998.06.09   
颁证日 2000.02.19    优先权  
申请人 曲承林; 曲天亮    地址 266045山东省青岛市商丘路二号一单元301室  
发明人 曲承林    国际申请  
国际公布   进入国家日期  
专利代理机构   代理人  
摘要   一种适合热丝CVD法批量生产金刚石片的灯丝工装,它是在已有架设灯丝的电极上增加了可在电极上移动的滑块,其位移可抵消灯丝热膨胀所产生的伸长量,使灯丝始终保持直线状态,工作参数稳定;停电时,灯丝收缩使滑块向回运动,灯丝不断裂。同时还增加了支架、灯丝定位板和电极定位板,可用它们将灯丝做成“灯丝总成”,然后再移到系统中的电极上。用该工装装配灯丝,省时,重复性好,并可保证工艺的稳定性 
 

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