名称 | 在刀具上沉积细粒氧化铝涂层的方法 | ||
公开号 | 1280632 | 公开日 | 2001.01.17 |
主分类号 | C23C16/40 | 分类号 | C23C16/40 |
申请号 | 98811569.7 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1998.11.26 | |
颁证日 | 优先权 | 1997.11.26 SE 9704387-1 | |
申请人 | 桑德维克公司 | 地址 | 瑞典桑德维肯 |
发明人 | 克里斯蒂娜·特施纳;因戈尔夫·恩德勒;阿尔布雷克特· | 国际申请 | |
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 甘玲 |
摘要 | 本发明涉及一种在由烧结硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或高速钢构成的刀具上沉积耐火氧化铝(Al#-[2]O#-[3])薄涂层的方法。本发明的方法是等离子体化学气相沉积(PACVD)法,其中等离子体由加在两个电极上的双极脉冲直流电压产生的,并在将待涂覆的基材固定在电极上且为电连接。与现有方法相比,该方法抑制了绝缘表面上电荷的积累,因此在所述表面上不产生电弧,从而使反应平稳、长期进行。在本发明方法中,由单相Y-Al#-[2]O#-[3]或γ-和α-Al#-[2]O#-[3]相混合物组成的涂层可在低至500℃的沉积温度下沉积在刀具上。当将本发明的涂覆有烧结硬质合金刀具用于加工钢或铸铁时,与现有技术制成的涂覆Al#-[2]O#-[3]刀具相比,可以观察到一些重要改进。 |