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氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究

氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究
氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究
氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究

【摘要】采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、...

日期 2011-09-01   技术信息

氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究

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氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究
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【摘要】采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、...

日期 2011-08-30   超硬新闻
  共 2 条记录

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