国内第一家专业从事CVD(化学气相沉积)金刚石工业化生产的企业;第一台自主知识产权的MPCVD生长设备;第一颗CVD大单晶金刚石;第一条自主知识产权的CVD大单晶金刚石工业化生产线……这两天,创下CVD大单晶金刚石4个国内第一的生产企业——宁波晶钻科技股份有限公司,正在进行新设备的最后调试。
下月底,晶钻科技的生长设备将扩充至1500台。届时,该企业大尺寸、高品质CVD大单晶金刚石年产能将达到200万克拉,居全球第一。
晶钻科技董事长张军安说,作为自然界中最坚硬的物质之一,金刚石除了供应消费端成为珠宝首饰外,在芯片、微电子、量子通信、光学、超精密加工、高端医疗等工业领域也有着广泛应用,产业应用规模达到万亿级。
“我们聚焦的正是金刚石在工业领域的应用。”张军安说,凭借10年的技术积累,目前,晶钻科技生产的同质外延单晶金刚石尺寸可达“42毫米×42毫米”,尺寸全球最大,其纯度、可控掺杂的能力及表面粗糙度也走在全球前列,并已广泛应用于金刚石刀具、射流喷嘴等超精密工具领域。
借助此次设备的升级及技术创新的持续突破,晶钻科技的单晶金刚石有望在今年突破4英寸,未来聚焦的重点也将随之转向半导体。
“这两天,我们正与国家5G中高频器件创新中心加紧开展金刚石基氮化镓功率芯片项目的联合攻关。”在张军安看来,晶钻科技有信心成为全球第一家生产4英寸同质外延单晶金刚石晶圆的企业,在半导体领域掀起一场材料替换的“风暴”。
而这仅仅是一个开始。“有规模体量、有技术沉淀与积累才能在‘风口’来临时紧紧抓住。”张军安说,加快形成新质生产力,就是要加快实现“0到1”的原创性创新及“0到100”的颠覆性创新。
晶钻科技要做的就是在完成产品、生长设备、工艺装备、加工装备及检验检测装备的自主创新后,紧紧围绕行业需求,持续创新与迭代,最终通过向下延伸、拓展应用,在“0到100”的颠覆性创新中,站在金刚石行业发展的最前沿。
“这注定是一条漫长又艰辛的道路,但总要有企业去闯、去做。”谈及未来的发展,张军安的眼中满是坚定。