摘要 金融界2024年3月4日消息,据国家知识产权局公告,河南黄河旋风股份有限公司申请一项名为“降低CVD单晶金刚石生长过程中应力的方法“,公开号CN117626421A,申请日期为20...
金融界2024年3月4日消息,据国家知识产权局公告,河南黄河旋风股份有限公司申请一项名为“降低CVD单晶金刚石生长过程中应力的方法“,公开号CN117626421A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种降低CVD单晶金刚石生长过程中应力的方法,包括以下步骤:(1)清洗单晶金刚石籽晶及铜箔组件;(2)将单晶金刚石籽晶非生长面进行刻蚀处理;(3)在单晶金刚石籽晶刻蚀面表面镀覆金属Mo层;(4)等离子表面碳化处理生成金属碳化物层;(5)将处理后的单晶金刚石籽晶与金属铜箔对齐高温固化,利用化学气相沉积炉进行焊接并完成键合;(6)通过生长获得低应力单晶金刚石。本发明旨在稳定单晶金刚石籽晶与样品生长台之间的传热,减少单晶金刚石表面生长温度梯度,降低CVD单晶金刚石生长过程中的应力累积。
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