移相器对于光学设备的尺寸设计起着重要的作用。目前,用于半导体设备的移相器主要是硅/锗基材料。这种材料的优势是制备技术成熟且成本低。但是,由于材料易腐蚀,使用寿命短且透明度低,无法在中红外波段使用。因此,硅/锗基移相器很难应用于极端环境。与硅/锗基材料相比,金刚石具有良好的热稳定性和光学性能,以及较高的硬度和透明度,可应用于极端环境下的光学设备。
浙江工业大学胡晓君教授团队通过有限元分析设计和优化了中红外(7.7-13.7 μm)金刚石基移相器。设计并掺杂脊形金刚石波导,形成内部p-n结构,并通过施加正向和反向电压改变内部载流子分布,以改变有效折射率,从而实现π相位移的效果。结果表明,当p掺杂浓度为4×10^(17) cm^(-3),n掺杂浓度为1×10^(18) cm^(-3),施加反向电压(8 V)时,有效折射率的实部变化(ΔR)为1.6×10^(-5),实现π相位移所需的移相器的长度(L)为241 mm。当施加正向电压(-8 V)时,ΔR增加到3.2×10^(-4),所需的移相器长度缩短到12.03 mm。这样短的长度在工业生产中相对容易。为了使折射率分布更均匀,已将载流子浓度分别优化为p型为1×10^(17) cm^(-3)和n型为4×10^(17) cm^(-3)。
相关的成果以“Design and optimization of diamond mid-infrared phase shifter”为题,发表在Functional Diamond 杂志上。
Design and optimization of diamond mid-infrared phase shifter
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通信作者Corresponding Author
胡晓君博士,浙江工业大学材料科学与工程学院副院长。长期在金刚石薄膜等低维超硬功能材料、纳米碳材料和计算材料学等方面开展工作,探索金刚石薄膜等材料的掺杂新方法及光电性能,致力于获得新颖的光电器件。主持科研项目13项,其中国家自然科学基金联合重点项目1项、国家国际科技合作项目1项、国家重点研发计划项目(第二单位负责人)1项、国家自然科学基金3项、浙江省重点研发计划1项。在ACS Appl. Mater. Interfaces,APL, Carbon, JMCC, JAP, ASS等国内外期刊发表论文80余篇;以第一发明人授权发明专利24项,受理发明专利11项,其中国际专利1项。入选浙江省高校创新领军人才;作为大会主席主办金刚石薄膜及其功能器件国际研讨会5次,发起首届海峡两岸金刚石薄膜及其功能器件研讨会;担任2016年新金刚石及纳米碳材料国际会议组委会成员;担任《Functional Diamond》、《金刚石与磨料磨具工程)和《超硬材料工程》等期刊的编委;担任浙江省青年科技工作者协会副会长、浙江省女科技工作者协会理事和浙江省材料研究学会理事;入选中国电子学会青年女科学家俱乐部会员;担任河南省功能金刚石创新中心技术专家委员会委员;近年来担任国际国内会议分会主席12次、做邀请报告12次、口头报告27次。担任Advanced Materials, Diamond & Related Materials, ACS: Applied Materials and Interfaces, Carbon, Journal of Crystal Growth等国际期刊审稿人。
团队由教授、副教授、讲师、博士研究生、硕士研究生等二十多人组成,围绕金刚石薄膜及其功能应用,从理论设计和实验两个方面开展研究,涉及金刚石及纳米碳材料材料的设计、制备、表征、性能和应用。近5年来获得国家自然科学基金联合重点项目、国家国际科技合作项目、国家重点研发计划项目、国家自然科学基金及浙江省重点研发计划等项目资助;团队建成浙江-俄罗斯金刚石薄膜及其功能器件联合研究中心,获批建设量子信息与智能材料浙江省国际科技合作基地。