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摘要 三安光电7月1日晚间公告，根据安溪县政府加快培育高新技术新兴产业集群的目标要求，促进安溪县LED光电产业链的发展，拟对公司蓝宝石衬底项目拨付“科技三项”财政补贴资金5000万元。目...
三安光电7月1日晚间公告，根据安溪县政府加快培育高新技术新兴产业集群的目标要求，促进安溪县LED光电产业链的发展，拟对公司蓝宝石衬底项目拨付“科技三项”财政补贴资金5000万元。目前该款项已收到。 对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底，需要根据设备和LED器件的要求进行选择。市面上一般有三种材料可作为衬底：蓝宝石（Al2O3）、硅（Si）、碳化硅（Sic）。
通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。蓝宝石的硬度非常高，在自然材料中其硬度仅次于金刚石，但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割（从400μm减到100μm左右）。
通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。蓝宝石的硬度非常高，在自然材料中其硬度仅次于金刚石，但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割（从400μm减到100μm左右）。
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