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郑州华晶金刚石股份有限公司

新技术提高金刚石原材料的利用效率

关键词 CVD , 金刚石 , 气相沉积 , 日本 , 原创|2013-06-26 09:28:42|来源 中国超硬材料网
摘要 Dr.TokuyukiTeraji,国家材料科学研究所光电材料单位高级研究员,他带领研究小组开发了一项新合成技术。在金刚石化学气相沉积(CVD)的过程中,这项技术能很大的提高原材料...

  Dr. Tokuyuki Teraji,国家材料科学研究所光电材料单位高级研究员,他带领研究小组开发了一项新合成技术。在金刚石化学气相沉积CVD)的过程中,这项技术能很大的提高原材料的利用率。 团队把这项技术应用到质量数12C同位素浓缩的金刚石晶体合成中,成功的合成了世界上含量最高的12C同位素比率的大块单晶金刚石。

  当用CVD方法合成高纯度金刚石时,通常是用甲烷作为气源。一般情况下,金刚石合成之前,最多1%的甲烷用于合成金刚石,剩余99%或更多排放到了空气中。由于这种方法的原料利用率较低,但是又考虑到成本的问题,运用昂贵的气体制作大量的晶体合成,也比较困难,因为传统的加工过程会消耗大量的甲烷。然而,利用新开发的CVD金刚石合成技术,甲烷的利用率比常规方法有了很大的提高。因此,在多晶金刚石合成的过程中,高达80%的气体利用率得到了实现。

  由于原料高利用率的CVD合成技术的开发,使得利用极其昂贵的同位浓缩甲烷作为气源也有了可能。研究结果表明,NIMS研发小组成功的获得了富含世界上最高的12C同位比率为99.998%的大块金刚石单晶。而12C同位比率为99.995%的单晶金刚石中的获得需要多晶金刚石作为固体原材料,可以利用这项技术(12C同位比率为99.998%)生产多晶金刚石,采用高温高压的方法合成金刚石。因为12C富含甲烷等气体,通常情况下作为气源。而这项新CVD技术很大的提高了甲烷气源的利用率,而且对于应用在高温高压的合成过程中,获得12C固体碳也是必不可少的。

  富含12C金刚石有各种用途,它比含有12C比率为98.9%金刚石的热导率更高。而且在富含12C金刚石晶体里,电子自旋的连续时间变长了,有望加快运用金刚石高性能量子信息通信设备的发展。

  这项技术的部分研究能够实现主要是由于日本学术振兴学会(JSPS)科研项目的资金支持,也是日本科学技术机构(JST)国际战略合作研究项目下的日德研究交换项目的一部分。(摘译自::“NIMS Researchers Develop Novel Technique for Increasing Source Material Utilization Rate in Diamond CVD”,翻译:马燕平)

 

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