H2等离子体处理可改善金刚石薄膜与WC-Co硬质合金结合力
关键词 等离子体 , 改善 , 金刚石薄膜 , 硬质合金 , 结合力|2006-10-23 00:00:00|来源 中国超硬材料网
摘要 最近,中国工程物理研究院利李建国等人用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压...
最近,中国工程物理研究院利李建国等人用SEM,XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响,并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层,采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜/基体间的结合力.结果表明,微米/纳米复合金刚石薄膜涂层分布均匀,具有低的表面粗糙度,Murakami溶液处理硬质合金可产生均匀的表面沟槽,其金刚石薄膜与基体间的临界载荷约为1.5kN,而用该方法制备的涂层钻头加工性能很差,H2等离子体处理促进了硬质合金基体表面的WC晶粒更加粗大、致密,其临界载荷超过1.5kN,用该方法制备的涂层钻头的加工性能优良。全文发表在《 金属学报 》2006年 42卷 7期上。
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