阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法 _专利

阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法

关键词阴极电弧 , 蒸镀 , 类金刚石 , 碳膜|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法公开号1289861公开日2001.04.04主分类号C23C16/2

名称	阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法
公开号	1289861	公开日	2001.04.04
主分类号	C23C16/27	分类号	C23C16/27
申请号	99119465.9
分案原申请号		申请日	1999.09.29
颁证日		优先权
申请人	永源科技股份有限公司	地址	台湾省台中市
发明人	汪大永	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	袁炳泽;余朦
摘要	本发明采用阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法，是利用CAE金属离子的高离子能量激发真空室中烃类气体的裂解反应而淀积高硬度、高润滑性的类金刚石碳膜，该碳膜由于内含金属成分而具有良好的韧性，另外淀积类金刚石碳膜之前可借助于同一金属弧源以CAE制备工艺先淀积一层或多层的金属、金属氮化物或金属碳化物中介层以强化类金刚石碳膜的附着性，再通过烃类气体与金属弧源等离子体产生烃类气体的裂解反应而淀积类金刚石碳膜

① 凡本网注明"来源：超硬材料网"的所有作品，均为河南远发信息技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：超硬材料网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。

② 凡本网注明"来源：XXX（非超硬材料网）"的作品，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的，请在30日内进行。

※ 联系电话：0371-67667020