制备类金刚石薄膜的电化学沉积方法及其装置 _专利

制备类金刚石薄膜的电化学沉积方法及其装置

关键词制备 , 类金刚石薄膜 , 电化学 , 沉积|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称制备类金刚石薄膜的电化学沉积方法及其装置公开号1205367公开日1999.01.20主分类号C25D9/08&

名称	制备类金刚石薄膜的电化学沉积方法及其装置
公开号	1205367	公开日	1999.01.20
主分类号	C25D9/08	分类号	C25D9/08
申请号	97111993.7
分案原申请号		申请日	1997.07.10
颁证日		优先权
申请人	北京理工大学	地址	100081北京市海淀区白石桥路7号
发明人	汪浩; 朱鹤孙	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	北京理工大学专利事务所	代理人	付雷杰
摘要	一种类金刚石薄膜的新制备方法，采用电化学沉积技术，以高频脉冲调制直流高压电源提供能量，选择甲醇作为电沉积溶液，在液相中制备出了类金刚石薄膜。这种薄膜是不含氢的具有非晶结构的类金刚石碳膜，具有一定的耐化学腐蚀能力，其电阻率在１０#+[７]Ω．cm量级，显微硬度在１２～１５ＧＰa之间。由于该方法具有沉积温度低，成膜均匀性好，反应条件容易控制，设备简单的特点，因此有很好的应用前景

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