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用类金刚石纳米复合材料制备容性薄膜

关键词 类金刚石 , 纳米复合材料 , 容性薄膜 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要 名称用类金刚石纳米复合材料制备容性薄膜公开号1202978公开日1998.12.23主分类号H01G4/06

 

名称 用类金刚石纳米复合材料制备容性薄膜 
公开号 1202978  公开日 1998.12.23 
主分类号 H01G4/06  分类号 H01G4/06 
申请号 96198464.3 
分案原申请号   申请日 1996.09.25 
颁证日   优先权 [32]1995.10.3[33]US[31]08/538,475 
申请人 先进耐火技术公司  地址 美国纽约州  
发明人 A·高尔; D·J·布莱; S·C·马丁; K·A·布拉克莱  国际申请 PCT.US96/15368 96.9.25 
国际公布 WO97.13263 英 97.4.10  进入国家日期 1998.05.21  
专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司  代理人 邹光新; 陈景峻   
摘要   一种制备电容器(25)的方法,包括:利用具有碳混晶原子尺度网格的类金刚石纳米复合固态材料制备介电层(27)和/或导电层(26),这些网格包括:由氢稳定的类金刚石碳网格,由氧稳定的类玻璃硅网格,及任选的至少一个掺杂元素附加网格或一个掺杂化合物附加网格,该网格包含元素周期表中第1族至第7b族以及第8族的元素。
 

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