类金刚石与金刚石复合膜作新型光学增透膜 _专利

类金刚石与金刚石复合膜作新型光学增透膜

关键词类金刚石 , 金刚石复合膜 , 新型光学增透膜 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称类金刚石与金刚石复合膜作新型光学增透膜公开号1188160公开日1998.07.22主分类号C23C16/26&nb

名称	类金刚石与金刚石复合膜作新型光学增透膜
公开号	1188160	公开日	1998.07.22
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	97106741.4
分案原申请号		申请日	1997.11.24
颁证日		优先权
申请人	上海大学	地址	201800上海市嘉定区城中路20号
发明人	夏义本; 居建华; 史伟民; 莫要武; 安其霖; 王鸿	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	上海高校专利事务所	代理人	张建成
摘要	金刚石复合膜是属于薄膜技术领域，它是以高频等离子体法制成的类金刚石膜上再以微波等离子体法化学气相沉积而成。涂覆于硅太阳能电池及红外探测器上，具有光学增透效应。本发明解决了此类光电器件的光电转换效应及光透性差的问题，且又有更佳的钝化作用，尤其使硅太阳能电池光谱响应波长范围拉宽，增透率为４０％理论值接近，用于红外探测器特别Ｈｇｄｅ器件上解决了光透材料，使平均透过率提高。

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