气相合成金刚石的方法 _专利

气相合成金刚石的方法

关键词气相合成 , 金刚石|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称气相合成金刚石的方法公开号1113965公开日1995.12.27主分类号C23C16/26

名称	气相合成金刚石的方法
公开号	1113965	公开日	1995.12.27
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	94110656.X
分案原申请号		申请日	1994.06.06
颁证日		优先权
申请人	山东矿业学院	地址	271019山东省泰安市岱宗大街48号
发明人	李惠琪; 李惠东; 霍万库; 吴玉萍; 张桂玲	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	山东省高等院校专利事务所	代理人	戚爱华
摘要	本发明是一种在直流等离子体喷射ＣＶＤ设备中利用专利号为９３１０９９６６．８的大喷口直径等离子炬以廉价的液化石油气作为碳源气相合成金刚石的方法。使用本发明在氩、氢等离子弧中直接吹入液化石油气，可以以每小时３０—５０微米的速度，生长出质量纯净的金刚石膜。

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