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一种利用激光加工CVD金刚石的设备

关键词 CVD , 金刚石设备 , 激光加工|2018-04-09 08:44:02|行业专利
摘要 申请号:201721069584.3申请日:2017.08.25申请人:西安碳星半导体科技有限公司发明人:碳星;蔺钢;李升摘要:本实用新型公开了一种利用激光加工CVD金刚石的设备,...

申请号: 201721069584.3    

申请日: 2017.08.25

申请人: 西安碳星半导体科技有限公司

发明人: 碳星; 蔺钢; 李升

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       摘要: 

       本实用新型公开了一种利用激光加工CVD金刚石的设备,包括底座,底座上设有第一滑槽,第一滑槽的前端侧壁上设有内外连通的通孔,且通孔内贯穿设有转动杆,转动杆位于第一滑槽内的一端上固定套接有第一涡轮,第一滑槽的底部转动连接有第一蜗杆,且第一蜗杆与第一涡轮啮合,第一蜗杆上固定套接有第一齿轮,且第一齿轮位于第一涡轮的下方,第一滑槽的底部转动连接有两根第二蜗杆,且两根第二蜗杆分别位于第一蜗杆左右两端的第一滑槽底部上,两根第二蜗杆上固定套接有第二齿轮,且第二齿轮与第一齿轮啮合,第一滑槽内设有两个第一滑块。本实用新型能有效的检测打磨后的CVD金刚石制品平整度,确保了CVD金刚石制品的精确度。

       主权利要求:

       一种利用激光加工CVD金刚石的设备,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上设有第一滑槽(2),所述第一滑槽(2)的前端侧壁上设有内外连通的通孔,且通孔内贯穿设有转动杆(3),所述转动杆(3)位于第一滑槽(2)内的一端上固定套接有第一涡轮(4),所述第一滑槽(2)的底部转动连接有第一蜗杆(5),且第一蜗杆(5)与第一涡轮(4)啮合,所述第一蜗杆(5)上固定套接有第一齿轮(6),且第一齿轮(6)位于第一涡轮(4)的下方,所述第一滑槽(2)的底部转动连接有两根第二蜗杆(7),且两根第二蜗杆(7)分别位于第一蜗杆(5)左右两端的第一滑槽(2)底部上,两根所述第二蜗杆(7)上固定套接有第二齿轮(8),且第二齿轮(8)与第一齿轮(6)啮合,所述第一滑槽(2)内设有两个第一滑块(9),两个所述第一滑块(9)的侧壁上均设有左右连通的第一螺纹孔,且第一螺纹孔内螺纹连接有第一螺纹杆(10),所述第一螺纹杆(10)靠近第一齿轮(6)的一端连接有第二涡轮(11),且第二涡轮(11)与第二蜗杆(7)啮合,所述第一螺纹杆(10)远离第二涡轮(11)的一端与第一滑槽(2)的侧壁转动连接,两个所述第一滑块(9)的上端均连接有固定杆(12),两根所述固定杆(12)的相对侧壁上均连接有固定板(13),所述底座(1)的上端设有龙门支架(14),且龙门支架(14)由一根横杆和两根竖杆组成,所述龙门支架(14)横杆的下端连接有液压缸(15),且液压缸(15)的活塞杆竖直朝下设置,所述液压缸(15)的活塞杆下端连接有连接板(16),所述连接板(16)的下端面设有第二滑槽(17),所述第一滑槽(17)内设有两块第二滑块(18),所述第二滑槽(17)的前后侧壁上均设有内外连通的第二螺纹孔,且第二螺纹孔内螺纹连接有第二螺纹杆(19),两根所述第二螺纹杆(19)位于第二滑槽(17)内的一端分别与两块第二滑块(18)的侧壁转动连接,其中一个所述第二滑块(18)的下端连接有打磨装置(20),另一个所述第二滑块(18)的下端连接有测试杆(21),所述测试杆(21)的下端连接有光感应器(22),所述测试杆(21)远离光感应器(22)的一端连接有激光发射器(23)。

 

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