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       申请号：201710557953.1
       申请人：杨凌美畅新材料有限公司
       发明人：曲东升 王新平 曹民博

       摘要： 本发明提供了本发明提供一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，包括以下步骤：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脱胶、清洗，（7）检测、包装；所述切割由切割机架带动硅棒向电镀金刚线网移动，同时主辊带动电镀金刚线网作往复运动实现切割，切割过程中，电镀金刚线的线速度为1300‑1500m/min，工件切割速度为1‑4.5mm/min，所述电镀金刚线上金刚石颗粒镀层厚度为3‑5um，切割过程中，电镀金刚线采用先正向进给后反向进给的方式，每个工件开始加工时，先向收线轮进给3‑5km电镀金刚线。采用本发明切割方法能够在1h以内完成对8.4inch、650mm晶体硅棒的顺利切割，解决了现有技术中电镀金刚线切割硅片效率低的问题。        主权利要求：1.一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脱胶、清洗，（7）检测、包装；所述步骤（1）粘棒：将燕尾与树脂板、树脂板与硅棒用粘胶粘接；所述步骤（2）上料：将步骤（1）中粘接成的整体通过燕尾装到上下料工装上，送入切片机；所述步骤（3）配制切割液：将切割液、消泡剂、水按照质量比为1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均匀后，倒入切割液缸中；所述步骤（4）切割：所述切割由切割机架带动硅棒向电镀金刚线网移动，同时主辊带动电镀金刚线网作往复运动实现切割，切割过程中，电镀金刚线的线速度为1300-1500m/min，工件切割速度为1-4.5mm/min，所述电镀金刚线上金刚石颗粒镀层厚度为3-5um，切割过程中，电镀金刚线采用先正向进给后反向进给的方式，每个工件开始加工时，先向收线轮进给3-5km电镀金刚线。
       2.根据权利要求1所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，所述电镀金刚线上金刚石镀层厚度为2-4um。
       3.根据权利要求1所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，所述工件切割速度分为三部分：进刀切割速度为1.5-3.5mm/min，主切割速度为3-4.5mm/min，出刀切割速度为1.0-1.5mm/min。
       4.根据权利要求3所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，所述工件切割速度分为三部分：进刀切割速度为1.5mm/min；主切割速度为3mm/min；出刀切割速度为1.5mm/min。
       5.根据权利要求1所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，所述先正向进给后反向进给的方式为电镀金刚线以往复切割方式从主辊的头端向着末端先行走，当电镀金刚线切入工件位置100~140mm后，电镀金刚线又以往复切割方式从主辊的末端向着头端行走，所述每个往复过程电镀金刚线在主辊的槽里都是螺旋行进，所述正向进给所需电镀金刚线总量≥反向进给所需电镀金刚线总量。
       6.根据权利要求5所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，正向进给切割时，新线供给量90-120m/min，每个循环中新线供给600-700m，旧线返回500-600m。
       7.根据权利要求5所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，反向进给切割时，旧线供给量130-200m/min，每个循环中新线供给500-700m，旧线返回700-850m。
       8.根据权利要求5所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，正向进给切割与反向进给切割交接的切深位置按照程序切割位置划分，位置选为切割深度100-140mm，所述程序切割位置是指总的切割深度，为161-168mm。
       9.根据权利要求1所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，所述步骤（4）切割过程中，切割设备中采用直径为70-80um的电镀金刚线作为切割线，电镀金刚线的破断张力为16-23N，所述电镀金刚线上金刚石颗粒密度300-450颗/mm，金刚石颗粒直径为5-16um，金刚石颗粒出刃高度为4-7um，切割过程中，电镀金刚线的切割张力为11-14N，切割液温度为18-20℃。
       10.根据权利要求1所述的一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法，其特征在于，所述步骤（6）中脱胶是将切割后的硅片浸泡在热水或草酸或乳酸溶液中进行脱胶。