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　　申请号：201710124589.X
       申请人：深圳先进技术研究院
       发明人：唐永炳 张松全 王陶

       摘要： 本发明公开了一种热丝承载架以及金刚石薄膜沉积设备。本发明的热丝承载架包括主架体以及安装于主架体上的多根热丝，并且所述主架体包括平行设置的两固定架以及多个连接件；其中，多个所述连接件可拆卸地装设于所述固定架上，并可于所述固定架上沿水平方向左右滑动，所述主架体通过所述固定架上的连接件连接所述热丝，并且调节所述连接件可相应调节所述主架体上所安装的热丝的数量以及所安装热丝之间的间距。本发明的热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备，可解决传统金刚石薄膜沉积设备中热丝固定不可调，导致无法灵活调控温度场而导致生成成本偏高、生产效率难以提高的问题。        主权利要求：1.一种热丝承载架，包括主架体以及安装于主架体上的多根热丝，其特征在于，所述主架体包括平行设置的两个固定架以及多个连接件，多个所述连接件可拆卸地装设于所述固定架上，并可沿着所述固定架的轴向延伸方向移动，所述热丝的相对两端通过所述连接件连接至两个所述固定架上，以通过调整所述固定架上所述连接件的数量相应调整设置于所述主架体上安装的热丝的数量，并通过调节所述连接件的位置以相应调节设置于所述主架体上所述热丝之间的间距。
       2.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架通过拆卸或加装所述固定架上的连接件，对应减少或增加所述主架体上安装的热丝的数量；所述热丝承载架还通过滑动所述固定架上的连接件，对应带动所述连接件上的热丝移动而调节与其他热丝之间的间距。
       3.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，每一所述固定架上分别开设一沿所述固定架的轴向延伸方向设置的滑槽，所述连接件可拆卸地装设于该滑槽中，并可在该滑槽中沿着所述固定架的轴向滑动，以对应调节固定在被滑动连接件上的热丝与其他热丝之间的间距。
       4.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架还包括若干支撑电极，所述支撑电极垂直连接至所述主架体，用以支撑所述热丝承载架以及为所述热丝供电。
       5.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架还包括多个弹性件，每一所述弹性件连接至一所述热丝与相邻的连接件之间，使每一所述热丝的至少一端通过所述弹性件连接至所述连接件上，以通过所述弹性件拉紧相连接的热丝。
       6.如权利要求1-5任一项所述的热丝承载架，其特征在于，至少一个所述固定架上的所述连接件用于连接所述热丝的一端长度可调。
       7.如权利要求1-5任一项所述的热丝承载架，其特征在于，所述主架体还包括连接框以及连接至所述连接框的至少一连接臂，所述连接框与其中一固定架连接并围成一加工面，另一固定架与所述连接臂连接并围成一张紧面，所述张紧面与所述加工面形成一夹角，固定于两个所述固定架上的热丝抵持所述连接框成折线设置，所述热丝对应分成平行所述张紧面的张紧段以及平行所述加工面的加工段。
       8.一种金刚石薄膜沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的热丝承载架。
       9.如权利要求8所述的金刚石薄膜沉积设备，其特征在于，所述金刚石薄膜沉积设备还包括样品基台，所述样品基台包括多个固定孔以及可拆卸装设于所述固定孔中的夹具，所述夹具上设有夹持部，所述样品基台通过所述固定孔固定待加工的样品，或者通过所述固定孔装设所述夹具后，再通过所述夹具的夹持部固定待加工的样品。
       10.如权利要求9所述的金刚石薄膜沉积设备，其特征在于，所述样品基台与所述夹具均采用高导热材料制成，所述夹持部为中空结构，且所述夹持部的内径与所述固定孔的内径尺寸不同。