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申请号: 201610920894.5
申请日: 2016.10.21
国家/省市: 中国上海(31)
公开号: 106544641A
公开日: 2017.03.29 主分类号: C23C 16/27(2006.01)
授权公告号: 授权公告日: 分类号: C23C 16/27(2006.01); C23C 16/02(2006.01)
申请人: 上海交通大学; 上海交闵精密耐磨器件有限公司
发明人: 申笑天; 孙方宏; 王新昶; 郭松寿; 张文骅; 郭睿
代理人: 郭国中 陈少凌
代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司(31236)
申请人地址: 上海市闵行区东川路800号

摘要： 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法；该方法针对硬质合金基体；首先，采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化，然后采用酸处理以对基体进行脱钴，制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比，可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度，极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度，并且在预处理后不会形成疏松层，有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制，适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备，且操作简单、应用方便，生产效率高、无污染，产业化前景光明，因而具有显著地经济效益。 

主权利要求
1.一种制备硬质合金基体金刚石涂层的预处理方法，其特征在于，所述方法包括喷砂处理和酸处理步骤；所述喷砂处理为：采用喷砂设备，以石英砂高压气流为介质对硬质合金基体进行冲蚀粗化；所述酸处理为:将经过喷砂处理的硬质合金基体浸泡在Caro混合酸溶液中进行刻蚀。