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　　申请号：201510676357.6
　　申请人：太原理工大学
　　发明人：于盛旺 郑可 高洁 刘小萍 张阿莉 黑鸿君 申艳艳 贺志勇

　　摘要：本发明为一种硬质合金表面制备金刚石涂层的方法，该方法是先使用化学气相沉积法在硬质合金表面制备SiC晶须，然后使用双辉等离子体表面冶金技术在制备了SiC晶须的硬质合金表面制备难熔金属碳化物渗镀层，最后以渗镀层为过渡层制备金刚石涂层。本发明制备的金刚石涂层包含了与基体冶金结合且SiC晶须增韧的难熔金属碳化物过渡层，具有高的结合强度。 　　主权利要求：1.一种硬质合金表面制备金刚石涂层的方法，其特征在于，通过如下方法实现：（1）制备复合过渡层：采用化学气相沉积方法在硬质合金表面制备SiC晶须，然后使用双辉等离子体表面冶金技术在制备了SiC晶须的硬质合金表面制备难熔金属碳化物渗镀层；（2）制备金刚石涂层：以包含SiC晶须的难熔金属碳化物渗镀层为过渡层，在硬质合金表面制备金刚石涂层。
　　2.根据权利要求1所述的硬质合金表面制备金刚石涂层的方法，其特征在于：所述的复合过渡层制备工艺如下：1）将硬质合金工件放入化学气相沉积装置中，以四甲基硅烷作为前驱体、氢气为反应气体，在硬质合金表面进行SiC晶须的制备，硬质合金工件温度为900-1050℃，四甲基硅烷占氢气的体积百分比为1-4%，制备时间为10-30min；2）将制备了SiC晶须的硬质合金工件放入双辉等离子体渗金属炉内，以难熔金属或其合金材料作为靶材，调整靶材与工件间距为15-20mm，抽真空至真空度达到1Pa以下，通入惰性气体Ar和含碳气体的混合气体，其中Ar气流量为60-80sccm，含碳气体含量占Ar气的体积百分比为1-5%，真空腔室压强控制在30-50Pa，开启源极和工件极电源，控制源极电压在500-800V，工件极电压在350-550V，进行难熔金属碳化物渗镀层的制备，工件温度为800-1000℃，时间为0.5-2h。
　　3.根据权利要求2所述的硬质合金表面制备金刚石涂层的方法，其特征在于：所述的难熔金属为Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W；所述的含碳气体为CH4、C2H2、C3H8。